CN-011 マイクロ波 プラズマエッチング装置

【番号】CN-011

【メーカ】PVA TePla AG

【型番】Plasma-System 400

【仕様】構成 プラズマエッチング装置 1式

ドライ真空ポンプ    1式

ハロゲンガス吸収ユニット1式

テーブル        1式

ウェハ装填治具     1式

チャンバ アルミ製 有効寸法 幅400×高さ400×奥行400

ガス制御 O2 985cc/min (最大) CF4 945cc/min (最大)

ターンテーブル アルミ製 350φ

マグネトロン 最大出力 1000W

周波数  2.45GHz

出力可変範囲 100~1000W

 

 

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