CN-011 マイクロ波　プラズマエッチング装置

【番号】CN-011

【メーカ】PVA　TePla　AG

【型番】Plasma-System　400

【仕様】構成　プラズマエッチング装置　１式

ドライ真空ポンプ　　　　１式

ハロゲンガス吸収ユニット１式

テーブル　　　　　　　　１式

ウェハ装填治具　　　　　１式

チャンバ　アルミ製　有効寸法　幅４００×高さ４００×奥行４００

ガス制御　O2　９８５cc/min　（最大）　CF4　９４５cc/min　（最大）

ターンテーブル　アルミ製　３５０φ

マグネトロン　最大出力　１０００W

周波数　　２．４５GHｚ

出力可変範囲　１００～１０００W

 

 

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