真空装置 

CN-011 マイクロ波 プラズマエッチング装置

【番号】CN-011

【メーカ】PVA TePla AG

【型番】Plasma-System 400

【仕様】構成 プラズマエッチング装置 1式

ドライ真空ポンプ    1式

ハロゲンガス吸収ユニット1式

テーブル        1式

ウェハ装填治具     1式

チャンバ アルミ製 有効寸法 幅400×高さ400×奥行400

ガス制御 O2 985cc/min (最大) CF4 945cc/min (最大)

ターンテーブル アルミ製 350φ

マグネトロン 最大出力 1000W

周波数  2.45GHz

出力可変範囲 100~1000W

 

 

CN-010 サンユー電子 スパッタ装置 SVC-700RFⅡ

【番号】CN-010

【メーカ】サンユー電子

【型番】SVC-700RFⅡ

【仕様】RF電源 13.56MHz 300W 手動マッチングボックス

スパッタ 4インチマグネトロン スパッタアップ

チャンバサイズ φ230×H200 SUS製

排気系 TMP+RF

真空計 ピラニ真空計、電離真空計

電力 単相100V 3kVA

【その他】動作確認済み

現物確認可能

 

CN-009 島津 3元スパッタ装置 HSR-521A

【番号】CN-009

【メーカ】島津製作所

【型番】HSR-521A

【仕様】https://www.shimadzu.co.jp/emit/products/shinku/pdf/d_hsr-521a.pdf

上記カタログ仕様を変更

排気系 ターボ分子ポンプ 島津 TMP-550

油回転ポンプ EDWARDS RV12

高周波電源  JEOL JRF-3000

MFC     Ar,O2

マスフロー制御ユニット PAC-D2

【その他】現物確認可能です。

動作確認後、御引き渡しします。

納入、据付、立ち上げも可能です。

ON-006 未使用ハースライナ JEOL用φ35標準

【番号】ON-006無題

【メーカ】SVAC

【型番】

【仕様】Cu製 φ35 JEOL標準

【その他】未使用品

30個程度在庫御座います。

 

 

 

 

 

CN-006 中古蒸着装置 ULVAC EBV-6DA

 

【番号】CN-006

【メーカ】ULVAC

【型番】EBV-6DA

【仕様】

【その他】貴社の仕様に合わせて改造致します。

EBV

 

 

 

 

 

CN-004 中古フィードスルー

【番号】CN-004

【メーカ】

【型番】

【仕様】 10インチ×80

SUS304製

【その他】

feed

 

 

 

 

CN-003 中古アクリルチャンバ

【番号】CN-003

【メーカ】

【型番】

【仕様】 チャンバ φ300×300(内径)

アクリル製 片扉

ポート  扉側 KF25×1 ブランク×2

対面 KF80×1 KF25×2(1個回転導入機構付き)

KF25 8Pフイードスルー×4

φ15ポート×1

【その他】

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