CN-011 マイクロ波 プラズマエッチング装置
【番号】CN-011
【型番】Plasma-System 400
【仕様】構成 プラズマエッチング装置 1式
ドライ真空ポンプ 1式
ハロゲンガス吸収ユニット1式
テーブル 1式
ウェハ装填治具 1式
チャンバ アルミ製 有効寸法 幅400×高さ400×奥行400
ガス制御 O2 985cc/min (最大) CF4 945cc/min (最大)
ターンテーブル アルミ製 350φ
マグネトロン 最大出力 1000W
周波数 2.45GHz
出力可変範囲 100~1000W
CN-009 島津 3元スパッタ装置 HSR-521A
【番号】CN-009
【メーカ】島津製作所
【型番】HSR-521A
【仕様】https://www.shimadzu.co.jp/emit/products/shinku/pdf/d_hsr-521a.pdf
上記カタログ仕様を変更
排気系 ターボ分子ポンプ 島津 TMP-550
油回転ポンプ EDWARDS RV12
高周波電源 JEOL JRF-3000
MFC Ar,O2
マスフロー制御ユニット PAC-D2
【その他】現物確認可能です。
動作確認後、御引き渡しします。
納入、据付、立ち上げも可能です。
ON-006 未使用ハースライナ JEOL用φ35標準
【メーカ】SVAC
【型番】
【仕様】Cu製 φ35 JEOL標準
【その他】未使用品
30個程度在庫御座います。
CN-006 中古蒸着装置 ULVAC EBV-6DA
CN-004 中古フィードスルー
【番号】CN-004
【メーカ】
【型番】
【仕様】 10インチ×80
SUS304製
【その他】
CN-003 中古アクリルチャンバ
【番号】CN-003
【メーカ】
【型番】
【仕様】 チャンバ φ300×300(内径)
アクリル製 片扉
ポート 扉側 KF25×1 ブランク×2
対面 KF80×1 KF25×2(1個回転導入機構付き)
KF25 8Pフイードスルー×4
φ15ポート×1
【その他】