BN-004 回転導入機
【番号】BN-004
【メーカ】ANELVA
【型番】954-7605
【その他】磁気結合型
XN-019 ICFクラスターフランジ ICF203／ICF70・ICF34
【番号】XN-019
【メーカ】ー
【仕様】
ベースフランジ ICF２０３ キリ
ポートフランジ
ICF７０ キリ ×１ センタ位置
ICF３４ タップ ×６ ＰＣＤ≒１１５
VN-22 ミニUVHゲートバルブ
【番号】VN-22
【メーカ】VAT
【型番】0132-CE11
【仕様】圧空式
ICF70
XN-01８ MSコネクタ型 多ピン電流端子
【番号】XN-018
【メーカ】アネルバ
【型番】954-7911
【仕様】３P電流端子
ICF34
XN-017 MSコネクタ型 多ピン電流端子
【番号】XN-017
【メーカ】アネルバ
【型番】954-7921
【仕様】４P電流導入端子 ICF34固定フランジ
VN21 アネルバ 超高真空Ｌ型ポリイミドバルブ
【番号】ＶＮ-２１
【メーカ】アネルバ
【型番】951-7145
【仕様】許容加熱温度 300℃
使用材料 本体 ＳＵＳ３０４ ベローズ ＳＵＳ３０４Ｌ ハンドル ＡＬ合金
接続フランジ ＩＣＦ３４
【価格】１８,０００（消費税別途）