UN-005 ANELVA バリアブルリークバルブ
【番号】UN-005
【メーカ】ANELVA
【型番】951-7170
【仕様】ICF70 インレット側ICF34
UN-004 ANELVA バリアブルリークバルブ
【番号】UN-00４
【メーカ】ANELVA
【型番】951-7172
【仕様】ICF70 インレット側ICF34
UN-001 超高真空シャッタ ICF152
【番号】UN-001
【メーカ】
【型番】
【仕様】ICF203
UN-003 ゼロレングス覗窓
【番号】UN-003
【メーカ】
【型番】
【仕様】ICF203
UN-002 ゼロレングス覗窓
【番号】UN-002
【メーカ】
【型番】
【仕様】ICF114
VN-027 アイソレーションバルブ 未使用品
【番号】VN-027
【メーカ】アネルバ
【型番】V-025SV-200
【仕様】NW２５ 未使用品
VN-026 超高真空手動ゲート弁 ICF１５２
【番号】VN-026
【メーカ】HVA
【型番】
【仕様】ICF152
VN-025 超高真空手動ゲート弁 ICF１５２
【番号】VN-025
【メーカ】アネルバ
【型番】951-7740
【仕様】ICF152
PN-056 中古油回転ポンプ ULVAC D-330DK
【番号】PN-056
【メーカ】ULVAC
【型番】D-330DK
【仕様】
【その他】
CN-013 ３元RF/DCスパッタリング装置
【番号】CN-103
【メーカ】神港精機製
【型番】SRV-4310改造品
【仕様】真空槽 約φ500×150
排気系 ６インチターボ分子ポンプ＋1000L 油回転ポンプ
カソード 4インチ 非磁性体用 2式 磁性体用 １式
RF電源 １ｋW 13.56MHz 自動マッチング
DC電源 １ｋW
逆スパッタ RF電源 自動マッチング
MFC Ar、O2
その他 RF電源は3台のカソードに、DC電源は１台のカソードに接続が可能
動作確認渡し
貴社の仕様に合わせて改造致します。
VN-024 超高真空用L型弁 ICF203
【番号】VN-024
【メーカ】
【型番】
【仕様】ICF203 L型弁 ベローシール
BN-008 ICF７０ ゼロレングス覗き窓
【番号】B-008
【メーカ】アネルバ
【型番】954-7002
【仕様】ICF70
【その他】
BN-007 ICF152 ゼロレングス覗き窓
【番号】B-007
【メーカ】アネルバ
【型番】954-7004
【仕様】ICF152
【その他】
BN-006 ICF114 ゼロレングス覗き窓
【番号】B-006
【メーカ】アネルバ
【型番】954-7003
【仕様】ICF114
【その他】
BN-005 ICF203 ブランクフランジ
【番号】BN-005
【メーカ】
【型番】
【仕様】ICF203 ブランク
【その他】
VN-023超高真空バリアブルリークバルブ アネルバ
【番号】VN-023
【メーカ】アネルバ
【型番】951-7172
【仕様】φ70ICF付き、インレット側φ34ICF
【その他】
PN-055中古クライオ温度計 アイシン
【番号】PN-055
【メーカ】アイシン精機
【型番】TAG05
【仕様】Pt-Co 極低温温度計
【その他】
VN-022 中古手動超高真空用L型弁 ICF70
【番号】VN-022
【メーカ】HTC
【型番】AVB-CU-CR35-M
【仕様】ICF70 ベローシール
VN-021 中古手動超高真空用L型弁 ICF203
【番号】VN-021
【メーカ】
【型番】
【仕様】ICF203 ベローシール
PN-054 中古クライオポンプ ULVAC U-8H ICFフランジ
【番号】PN-054
【メーカ】ULVAC
【型番】U-8H
【仕様】ICF-253
【その他】
PN-05３ 中古油回転ポンプ ULVAC VS-2401
【番号】PN-053
【メーカ】ULVAC
【型番】VS-2401
【仕様】7.5Kw 3φ200v
50Hz･240㎥/h,60Hz･288㎥/h
【その他】
PN-052 中古クライオ圧縮機 ANELVA CRC-420
【番号】PN-052
【メーカ】ANELVA
【型番】CRC-420
【仕様】
【その他】 稼動時間 約33000時間
CN-0１2 中古RFスパッタリング装置 アネルバ
【番号】CN-012
【メーカ】アネルバ
【型番】SPF-313H
【仕様】
真空槽 φ450×200
排気 クライオポンプ+油回転ポンプ
カソード 10インチ TS50～100mm 可変
電源 3kW RF電源
【その他】
試験運転可能です。
貴社の仕様に合わせて改造致します。
PN-050 中古排気セット Edwards E2M40+EH250
【番号】PN-050
【メーカ】EDWARDS
【型番】E2M40+EH250
【仕様】3φ 200V 50Hz
【その他】OH渡し。
PN-049 中古メカニカルブースタポンプ ULVAC PMB-001C
【番号】PN-049
【メーカ】ULVAC
【型番】PMB-001C
【仕様】
【その他】大気圧駆動（インバータ）駆動に改造可能です。
MN-019 中古水晶式膜厚計 INFICON XTC/2
【番号】MN-019
【メーカ】INFICON
【型番】XTC/2
【仕様】
【その他】
MN-018 中古キャパシタンスマノメータ ULVAC GM-1000
【番号】MN-018
【メーカ】ULVAC
【型番】GM-1000
【仕様】
【その他】
PN-048 中古クライオポンプ圧縮機 ULVAC C30-VR
【番号】PN-048
【メーカ】ULVAC
【型番】C30-VR
【仕様】
【その他】 稼動時間 約11000時間
商談中
PN-047 中古クライオポンプ温度計 ULVAC MBD
【番号】 PN-047
【メーカ】 ULVAC
【型番】 MBD
【仕様】
【その他】
PN-045 中古ターボ分子ポンプ島津 TMP-3003MC
【メーカ】 島津
【型番】 TMP-3003MC
【仕様】
【その他】コントローラ EI-3003M,ケーブル付属
動作確認済み