スパッタリング装置

CN-013 3元RF/DCスパッタリング装置

【番号】CN-103

【メーカ】神港精機製

【型番】SRV-4310改造品

【仕様】真空槽  約φ500×150

排気系   6インチターボ分子ポンプ+1000L 油回転ポンプ

カソード   4インチ 非磁性体用 2式  磁性体用 1式

RF電源   1kW 13.56MHz 自動マッチング

DC電源   1kW

逆スパッタ   RF電源 自動マッチング

MFC    Ar、O2

その他   RF電源は3台のカソードに、DC電源は1台のカソードに接続が可能

動作確認渡し

 貴社の仕様に合わせて改造致します。

 

CN-002 中古スパッタリング装置 JEOL FCJ-1100

 

【番号】CN-002

【メーカ】JEOL(日本電子)

【型番】FCJ-1100 FINE COAT

【仕様】 チャンバ φ150×200

ガラスベルジャ

AC、DCスパッタ可能

【その他】放電確認済み

JFC-100A