スパッタリング装置

CN-009 島津　３元スパッタ装置　HSR-521A

【番号】CN-009

【メーカ】島津製作所

【型番】HSR-521A

【仕様】https://www.shimadzu.co.jp/emit/products/shinku/pdf/d_hsr-521a.pdf

上記カタログ仕様を変更

排気系　ターボ分子ポンプ　島津　TMP-550

油回転ポンプ　EDWARDS　RV12

高周波電源　　JEOL　JRF-3000

MFC　　　　　Ar,O2

マスフロー制御ユニット　PAC-D2

【その他】現物確認可能です。

動作確認後、御引き渡しします。

納入、据付、立ち上げも可能です。