スパッタリング装置

CN-010 サンユー電子 スパッタ装置 SVC-700RFⅡ

【番号】CN-010

【メーカ】サンユー電子

【型番】SVC-700RFⅡ

【仕様】RF電源 13.56MHz 300W 手動マッチングボックス

スパッタ 4インチマグネトロン スパッタアップ

チャンバサイズ φ230×H200 SUS製

排気系 TMP+RF

真空計 ピラニ真空計、電離真空計

電力 単相100V 3kVA

【その他】動作確認済み

現物確認可能

 

CN-009 島津 3元スパッタ装置 HSR-521A

【番号】CN-009

【メーカ】島津製作所

【型番】HSR-521A

【仕様】https://www.shimadzu.co.jp/emit/products/shinku/pdf/d_hsr-521a.pdf

上記カタログ仕様を変更

排気系 ターボ分子ポンプ 島津 TMP-550

油回転ポンプ EDWARDS RV12

高周波電源  JEOL JRF-3000

MFC     Ar,O2

マスフロー制御ユニット PAC-D2

【その他】現物確認可能です。

動作確認後、御引き渡しします。

納入、据付、立ち上げも可能です。